Формула процесса травления Samsung многократно утекала в компанию Pantheon из Южной Кореи

Согласно сообщению корейских полупроводниковых СМИ THE ELEC, формула процесса травления, используемая Samsung Electronics для производства полупроводников, была передана поставщику оборудования компании Lam Research в Корее. Внутреннее расследование Samsung выявило, что передача данных за пределами разрешенного объема происходила несколько раз, и это событие рассматривается как серьезная утечка технологий. Lam Research является поставщиком оборудования для производственной линии полупроводников Samsung, в основном предоставляя оборудование для травления и осаждения.

Данные, генерируемые в процессе работы оборудования, будут храниться в системах, таких как серверы мониторинга внутри завода. В соответствии с соглашением между сторонами, Lam Research может в ограниченном объеме получать некоторые данные об оборудовании для оптимизации производительности и обслуживания, и его корейская компания подает заявки на данные в Samsung. В ходе расследования Samsung было установлено, что некоторые несанкционированные формулы процессов передавались в Lam Research Korea в виде отдельных документов, и соответствующая передача происходила из-за несоответствующих заявок, а не была единичным случаем. Проблема была обнаружена Samsung во второй половине этого года.

Записи формул полупроводниковых процессов содержат ключевые параметры, такие как температура оборудования, давление в камере, поток газа и время обработки, которые напрямую влияют на выход годных чипов, производительность и стабильность производства, и являются основными техническими данными для компаний по производству полупроводников. 6 ноября Lam Research Korea объявила, что Ким Тэ Ён заменит Пак Чун Хона на посту CEO. Некоторые представители отрасли связывают эту смену руководства с инцидентом утечки данных, но в настоящее время нет публичной информации, подтверждающей прямую связь между ними. Samsung Electronics и Lam Research Korea не ответили на запросы THE ELEC для интервью.