國產浸沒式 DUV 光刻機啟動小批量生產，今年計劃交付約 5 台

ChainCatcher 消息，据《The Information》援引知情人士報導，一家未公開名稱的上海國資背景公司已開始生產國產浸沒式DUV光刻機，計劃今年製造約 5 台，到 2027 年 提升至約 20 台。首批設備將交付 中芯國際、華虹半導體和長鑫科技 等主要晶圓廠，但設備仍需經過精度、穩定性及產線兼容性驗證，該過程可能持續數月甚至更久。

目前該設備多數部件來自國內，但部分關鍵零件仍依賴日本，性能和製造質量落後於 ASML 。作為對比，ASML 僅 2025 年 即交付約 131 台浸沒式 DUV 光刻機。國產設備雖已實現從原型測試到小批量生產的跨越，但距離大規模替代 ASML 仍有明顯差距。此前路透社報導稱，美國正考慮進一步收緊對華光刻設備出口及在華維修服務限制，此次國產設備交付恰逢這一背景。