三星のエッチングプロセスのレシピが何度も泛林韓国会社に流出したことが報じられた。

韓国の半導体メディア THE ELEC の報道によると、サムスン電子が半導体製造に使用するエッチングプロセスのレシピが、設備供給業者であるラムリサーチ韓国社に流出したことが明らかになりました。サムスン内部の調査によると、権限を超えたデータ転送が何度も発生しており、これを重大な技術漏洩事件と見なしています。ラムリサーチはサムスンの半導体生産ラインの設備供給業者であり、主にエッチングおよび堆積装置を提供しています。

設備の運用中に生成されたデータは、工場内部の監視サーバーなどのシステムに保存されます。双方の合意に従い、ラムリサーチは限定された範囲内で一部の設備データを取得し、性能最適化およびメンテナンスに使用することができます。また、韓国の子会社がサムスンにデータの申請を行います。サムスンの調査によると、一部の未承認のプロセスレシピが独立したファイル形式でラムリサーチ韓国社に流出しており、関連する転送は不適切な申請に起因しており、単発の行為ではありませんでした。サムスンは今年下半期にこの問題を発見しました。

半導体プロセスのレシピは、設備の温度、チャンバーの圧力、ガスの流量、処理時間などの重要なパラメータを記録しており、チップの歩留まり、性能、生産の安定性に直接影響を与えるため、ウェーハ製造企業の核心技術資料に該当します。ラムリサーチ韓国社は11月6日に、キム・テウォンがパク・ジュンホンの後任としてCEOに就任することを発表しました。一部の業界関係者は今回の人事異動をデータ漏洩事件と関連付けていますが、現時点で両者の直接的な関係を証明する公開情報はありません。サムスン電子とラムリサーチ韓国社は、THE ELECの取材に対していずれも応答していません。