蚀刻工藝

ChainCatcher 消息，据韓國半導體媒體 THE ELEC 報導，三星電子用於半導體製造的蝕刻工藝配方被曝流向設備供應商泛林半導體韓國公司。三星內部調查發現，超出授權範圍的數據傳輸曾多次發生，並將此事視為一起嚴重的技術洩露事件。泛林半導體是三星半導體產線的設備供應商，主要提供蝕刻和沉積設備。設備運行過程中產生的數據會保存在工廠內部的監控伺服器等系統中。按照雙方協議，泛林半導體可在限定範圍內獲取部分設備數據，用於性能優化及維護，並由其韓國公司向三星提交數據申請。三星調查發現，部分未獲准對外提供的工藝配方以獨立文件形式流向泛林韓國公司，相關傳輸源於不合規的申請，並非單次行為。三星於今年下半年發現這一問題。半導體工藝配方記錄設備溫度、腔體壓力、氣體流量和處理時長等關鍵參數，直接影響晶片良率、性能及生產穩定性，屬於晶圓製造企業的核心技術資料。泛林半導體韓國公司 11 月 6 日宣布，由金泰元接替朴俊弘出任 CEO。部分業內人士將此次換帥與數據洩露事件聯繫起來，但目前沒有公開信息證明二者存在直接關係。三星電子和泛林半導體韓國公司均未回應 THE ELEC 的採訪詢問。