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first_img 分析: 中国はすでに343台の浸没式深紫外線露光装置を蓄積している可能性がある。

『南華早報』の報道によると、前アメリカ官僚は、中国の半導体工場が近年、数百台、数十億ドル相当の浸漬式露光機を蓄積しており、ワシントンとその同盟国にさらなる輸出を停止するよう促していると述べています。2026年8月に設立された技術と国家戦略センターは、9月下旬に報告書を発表し、2026年初頭までに中国のウェハ工場が約343台の浸漬式深紫外線露光システムを取得したと推定しています。この報告書は、前アメリカ輸出管理官のニコラス・ブラウンと、前ホワイトハウスおよび商務省の技術政策顧問のサイフ・カーンが共同で執筆しました。報告書は、そのうち約270台がASMLのTwinscan NXT:1980iであると推定しています。著者は、これらの機器は極紫外線露光機には劣るが、7ナノメートル級のロジックチップや人工知能プロセッサ(ファーウェイの昇騰シリーズを含む)に必要な先進的なメモリの製造に改造できると述べています。中国のウェハ工場は2024年に約90台のNXT:1980iを購入するために130億ドル以上を費やし、2025年には89台を購入しました。ASMLは、出荷先の国別に見ると、中国は2024年の純システム売上高の41%、2025年の33%を占め、2026年第1四半期には19%、第2四半期には14%に減少したことを明らかにしました。オランダは2023年9月からNXT:2000iおよびそれ以上の先進的な浸漬式深紫外線機器に対して輸出許可を要求しており、これらのモデルは実質的に中国への輸出が禁止されています。一年後、許可要件はNXT:1980iにまで拡大されましたが、このモデルは依然として個別に出荷が承認される可能性があります。

金融タイムズ:Huaweiが国産露光機を統括し、宇量昇 DUV の年末目標は12台

英国『フィナンシャル・タイムズ』は、ファーウェイが国産露光機のサプライチェーンにさらに深く関与していると報じており、関連する設備や部品会社への投資だけでなく、サプライヤー、ウェハ工場、完成品メーカーの調整も行い、国産DUVを実際の生産ラインに導入することを推進しています。バーンスタインのアナリストは、ファーウェイを中国のDUVプロジェクトの「プロジェクトマネージャー」と表現しています。最も進展が早いのは上海宇量昇です。同社は国産の先進DUVの開発に参加しており、設備は中芯国際などのウェハ工場やファーウェイ自身の生産ラインでテストされており、今年の年末までに12台の生産を計画しています。現段階では主に比較的簡単なチップを製造しており、最終的な目標は先進的なAIチップの製造に使用することです。国産DUVは現在、海外のサプライチェーンから完全には脱却していません。宇量昇が使用している投影レンズは依然としてドイツのツァイスからのものであり、高出力光源も主要なボトルネックです。ファーウェイは期光子、科益虹源などの会社に投資しており、それぞれ国産のレンズと光源を補完しています。
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