euv

彭博社の報道によると、UBSグループのアナリストは、今後10年間で中国の半導体製造能力が十分に速い進展を遂げることは難しいと予測しており、ASMLの最先端EUV露光技術を本当に代替できるソリューションを開発することができないとしています。UBSのアナリストは報告書の中で、「彼らが現在いる段階は、ASMLが2004年にいた段階に相当するようだ」と述べており、特に光源やレーザーサブシステムの分野における特許申請活動から見ると、中国の現在の技術成熟度は、ASMLがEUV装置の大規模生産を開始する前の15年のレベルに大体相当しています。UBSは同時に、中国が今後2〜5年以内に浸漬式DUV露光機の大規模量産能力を持つことが期待されると予測しています。浸漬式DUVはEUVほど先進的ではありませんが、依然としてチップ製造に不可欠な設備です。ASMLの浸漬式DUVの価格は約9000万ドルで、EUV装置は1台あたり2億ドルを超えます。中国はASMLの最大市場の一つですが、輸出制限の影響を受け、ASMLは中国にEUV装置を販売することが禁止されています。UBSは、良率や生産能力の差、規制の制約を考慮すると、中国の露光装置が海外で使用される可能性は低いと指摘しています。ASMLのスポークスマンはコメントのリクエストに応じていません。この報道はUBSアナリストの予測に基づいており、実際の進展は産業の動向に基づいています。

三星電子半導体研究所 Foundry 工芸開発チームの朴昌民は「2026 次世代光刻+パターン化学術大会」で、会社は1ナノ（A10）プロセスからHigh-NA EUV技術を適用する計画であり、2030年頃に量産を実現することを目指していると述べました。三星は現在、2ナノ以下のプロセスで依然として既存の0.33 NA EUVの多重パターン化方案を採用しており、2029年に1.4ナノの量産を計画し、その後1ナノへと進める予定です。High-NA EUVはレンズの数値孔径（NA）を0.33から0.55に引き上げ、解像度が向上し、従来は多重パターン化が必要だった超微細プロセスを単回パターン化に簡素化することができ、製造コストの削減、生産効率の向上、設計の柔軟性に寄与します。しかし、この技術は難易度が高く、設備が高価であり、関連材料技術の同時アップグレードが必要です。朴昌民は1.4ナノおよび1ナノプロセスは依然として0.33 NA EUVの多重パターン化が主流であり、その後High-NAパターン化が新しい世代のプロセスの核心技術になると予測しています。